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上海奕卿过滤科技有限公司

Shanghai YiQing Filter Technology Co., Ltd.

半导体制造废水 奕卿科技 过滤运用-80011js金沙娱城-wwwjs55com

2017年09月18日

 

半导体制造废水 

 

历程简述

半导体集成电路是指正在半导体基板上,应用氧化、蚀刻、散布等要领,将浩瀚电子电路构成各式二极管、晶体管等电子组件做正在一细小面积上,以完成某一特定逻辑功用(比方:ANDORNAND等), 进而杀青预先设定好的电路功用。半导体的生产工艺要求下,涵盖光刻、周详切割和研磨等种种庞大工艺,消费半导体的历程会发生大量的废水, 半导体废水污染物品种多,身分庞大,一般包孕多种重金属废水,有机废水和硅和氟废水;同时半导体-80011js金沙娱城PCW体系的造程冷却水须过滤处置惩罚以回用(睹水处理运用)。

洗濯工艺及废水泉源

工艺

干净源

容器

干净结果-wwwjs55com

剥离光刻胶

氧等离子体

平板反应器

刻蚀胶

去聚合物

硫酸:=6:1

溶液槽

撤除有机物

去天然氧化层

氟化氢:<1:50

溶液槽

发生无氧外面

扭转甩干

氮气

甩干机

无任残留物

RCA1#(碱性)

氢氧化铵:过氧化氢:-js887.com=1:1:1.5

溶液槽

撤除外面颗粒

RCA2#(碱性)

氯化氢:过氧化氢:-澳门金沙总站6165.com=115

溶液槽

撤除重金属粒子

DI洗濯

去离子水

溶液槽

撤除洗濯溶剂

 

题目形貌

1.分发生兴水量大;

2.废水成庞大,含有种种过渡性子的金属如硅、锗等,同时含有较下含量的氟;

3.废水中含有难以处置惩罚的较下浓度的 COD

 

产物运用

 

1.陶瓷膜过滤体系;

2.占地面积小,集中管理,智能掌握;

3.产水质量下,同时去除废水中的磷酸盐和COD;-js39008金沙娱城

4.耐化学酸碱性佳,寿命少,保护轻便;

5.简化传统工艺,无需增加药剂。

 推荐奕卿科技产品:

折叠滤芯过滤器、周详过滤器、袋式过滤器等

联系关系产物

 

滤芯

 

聚丙烯折叠膜滤芯

 

聚四氟乙烯膜滤芯

 

聚醚砜折叠膜滤芯

 

陶瓷膜过滤体系(管式)


干净型产业滤壳

 

泉源:上海奕卿过滤科技有限公司